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      高純氣體的管道輸送

      2022-03-18 15:30:43

        高純氣體廠家告訴您高純度氣體管道中所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(POU),為了達到儀器對氣體的質量要求,在氣體出口指標一定的情況下,則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。除取決于制氣或凈化設備的精度外,在很大程度上受到管路系統諸多因素的影響,因此,管材的選取應恪守相關行業原則,并注明管道材質。

        高純度氣體的管道輸送,將高純氣體送至用氣點,并保持質量合格的關鍵是供氣系統設計合理、管件及附件選擇正確、施工安裝正確和試驗檢測合格。高純氣體管道輸送管道,要根據工藝過程對氣體純度、允許的雜質含量、微粒含量等的要求不同,采用相應質量的管材。比如半導體產業因其生產工藝復雜、加工精細,它不僅要求有潔凈的生產環境,而且對生產過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴格的要求,從微米技術進入亞微米、深亞微米(小于O.35g.m)技術,對氣體中的雜質含量、水含量要求極為嚴格,10(ppm級)已經不能達到要求,需要達到10(ppb級),甚至10一~2(ppt級),塵埃粒徑要求控制到0.05-0。Olla,m。因此輸送管道本身的管道材料特性適應高純、超高純氣體的要求成為必須。

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